杂质浓度
采用无氧的多晶硅扩散掺杂工艺制作SCB芯片能保持电阻稳定一致,能满足阻值要求,而且这种扩散工艺导致芯片杂质浓度的梯度正好有利于SCB点火装置发火能的降低。
来源:互联网摘选然而随着杂质含量的降低,抗拉强度与屈服强度均得到了提高,并且加工硬化能力有所下降。
来源:互联网摘选为了提高转移效率,CCD移位寄存器采用埋沟CCD,并且发现,降低埋沟中的杂质浓度是提高器件在77K液氮工作温度下的转移效率的一种有效方法。
来源:互联网摘选
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