结果表明,采用HWP CVD技术能在低衬底温度条件下以较高的沉积速率制备低H含量的SiN薄膜,所沉积的薄膜主要表现为Si&N键合结构。
来源:互联网摘选As substrate temperature continuing rising, sp~ 3 bond proportion gradually decrease.
随着基底温度的继续增加,sp~3键含量逐渐下降。
来源:互联网摘选结果表明,采用HWP CVD技术能在低衬底温度条件下以较高的沉积速率制备低H含量的SiN薄膜,所沉积的薄膜主要表现为Si&N键合结构。
来源:互联网摘选ZnO薄膜的光电学性质强烈依赖于其制备的工艺条件,如:基片温度、氧分压以及退火处理等。
来源:互联网摘选Effect of the Substrate Temperature on the Formation of SOI Materials by O Ion Implantation
基片温度对氧离子注入硅形成SOI材料的影响
来源:互联网摘选用带特殊热(冷)阱的可控制基片温度的电阻加热式真空蒸镀薄膜装置,把吸收透明导电薄膜Au和In2O3分别通过热蒸镀和活化反应淀积在玻璃基片上。
来源:互联网摘选实验结果表明,衬底温度、反应气压及射频功率对金刚石膜的结晶习性、表面粗糙度及光透过率均有很大程度的影响,其最佳值分别为700℃,2×133Pa和200W。
来源:互联网摘选The methane concentration and the substrate temperature were studied.
着重研究了甲烷浓度、基体温度等工艺参数对热丝CVD法金刚石薄膜显微结构与性能的影响。
来源:互联网摘选结果表明,采用HWP CVD技术能在低衬底温度条件下以较高的沉积速率制备低H含量的SiN薄膜,所沉积的薄膜主要表现为Si&N键合结构。
来源:互联网摘选结果表明,采用HWP CVD技术能在低衬底温度条件下以较高的沉积速率制备低H含量的SiN薄膜,所沉积的薄膜主要表现为Si&N键合结构。
来源:互联网摘选In addition, the optical loss increases with substrate temperature rising.
此外,随着基板温度的提高,损耗也会有所增加。
来源:互联网摘选As substrate temperature rises, islands coalesce and grow into larger ones on the surface.
AFM分析表明,薄膜为岛状生长,随温度升高,表面生长岛尺寸增大,岛密度变小。
来源:互联网摘选在可见光区域薄膜透射率和反射率随着基板温度的提高均有所下降。
来源:互联网摘选通过XRD、SEM和Hall等测试手段研究了衬底温度和靶材中Na含量对ZnO薄膜性能的影响。
来源:互联网摘选低电阻率的ITO膜可以通过提高沉积时的衬底温度或高温退火来获得。
来源:互联网摘选通过改变沉积温度、反应气体比、沉淀时间等因素,系统研究了这些沉积工艺参数对Si3N4膜绝缘耐压性能的影响。
来源:互联网摘选应用直流磁控溅射方法,在500℃的衬底温度、纯氮气的溅射气体、800w溅射功率的条件下制备出(002)择优取向的TiN薄膜。
来源:互联网摘选发现适当降低聚焦加热灯强度、提高衬底加热温度可以降低固化前沿温度梯度,从而降低亚晶界等缺陷密度。
来源:互联网摘选当衬底温度较高时(>573K),溅射不再发生,熔滴的扁平粒子呈现规则的圆盘状;
来源:互联网摘选
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