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还分析了地球纬度误差、两个姿态角的测量误差对寻北误差的影响情况；
来源：互联网摘选 -
2、
它不仅影响工艺窗口，即，曝光容裕度和焦深（DOF），而且也降低了掩模误差因子（MEF），这能导致附加的掩模费用。
来源：互联网摘选 -
3、
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