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楔形误差补偿技术是双面光刻机中的关键技术之一，它使基片表面和掩模电路图形表面形成2个平行平面，提供给对准工作台进行对准操作。
来源：互联网摘选 -
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The Wedge Error Compensation Technology Used in the Double Sides Mask Aligner
一种应用于双面光刻机中的楔形误差补偿技术
来源：互联网摘选
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