通过改造现有辉光离子氮化炉及工艺试验,扩大离子氮化的氮化范围,解决离子氮化后的氧化及变形问题。
来源:互联网摘选采用离子束溅射法制备了在室温附近具有高TCR氧化钒薄膜。
来源:互联网摘选甚高频容性耦合等离子体(CCP)是一种主要的刻蚀工具。由于其能分别控制离子通量和离子能量,通常用于高精度的薄栅极氧化层的刻蚀上。
来源:互联网摘选通过在稀土上转换纳米材料中,进一步引入Li+离子掺杂,获得了二个数量级增强的上转换发光。
来源:互联网摘选
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