为了检测纳米尺度的表面微划痕,基于原子力显微镜思想,选用硅微探针工作在轻敲模式,通过外差干涉测量振幅变化,z向反馈实现微划痕成像,构建了一套微划痕检测实验系统。
来源:互联网摘选GB/T14141-1993硅处延层、扩散层和离子注入层薄层电阻的测定直排四探针法
来源:互联网摘选实验一装置:加热板与矽晶圆(右)连接至感温棒(左)。
来源:互联网摘选本文讨论用四探针方法测试高纯硅单晶电阻率的测准条件。
来源:互联网摘选探测器级高纯硅单晶电阻率的四探针测试条件
来源:互联网摘选Electron probe microanalysis ( EPMA ) shows that silicon is only substituted for phosphorus.
电子探针分析结果表明,硅只取代磷进入SAPO -5分 子筛骨架.
来源:互联网摘选通过电子探针检测,测得了布敦岩沥青的矿物组成元素主要为碳、氧、硫、硅、镁、铝、钙、钾及铁等;
来源:互联网摘选本论文是以光学扫瞄系统为基础,针对矽晶片内部的结构成像设计出有效方便的架构。
来源:互联网摘选实验一装置: 加热板与矽晶圆 ( 右 ) 连接至感温棒 ( 左 ).
来源:互联网摘选
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