附加电极半径对空心圆管端点附近离子注入剂量的影响
来源:互联网摘选Numerical simulation of collisional sheath evolution in plasma source ion implantation
等离子体源离子注入鞘层时空演化的研究
来源:互联网摘选TiN coating for inner surface modification by grid enhanced plasma source ion implantation
内表面栅极等离子体源离子注入TiN薄膜及其特性研究
来源:互联网摘选Pulsed glow discharge ion source for time of flight mass spectrometer
一种用于飞行时间质谱仪的脉冲辉光放电离子源
来源:互联网摘选第二部分是设计了一个用于多次反射式飞行时间质谱仪的电子碰撞离子源。
来源:互联网摘选甚高频容性耦合等离子体(CCP)是一种主要的刻蚀工具。由于其能分别控制离子通量和离子能量,通常用于高精度的薄栅极氧化层的刻蚀上。
来源:互联网摘选辉光放电离子源质子转移反应质谱对水中苯的分析方法研究
来源:互联网摘选本设备由以下系统组成:注入系统,有溅射离子源及不对称三电极加速管,能量50keV,流强4mA(N~+);
来源:互联网摘选从进样系统、离子源、质量分析器、离子检测器和辅助系统5个方面综述了电感耦合等离子体质谱(ICP-MS)仪器的进展,并简要介绍了ICP-MS在烟草元素分析中的应用。
来源:互联网摘选活化源功率对高速钢基体反应溅射离子镀TiN涂层的影响
来源:互联网摘选介绍了1种应用于表面电离型溅射负离子源的球面形透射表面电离器,并阐述了原理。
来源:互联网摘选本文采用空心阴极空心阳极结构,用热阴极电子发射弧放电驱动并用磁场约束产生等离子体,用曲面发射引出离子束,研制成了氩气放电溅射离子源;
来源:互联网摘选针对ECR离子源的束流引出及传输研究,在中国科学院近代物理研究所的LECR3离子源实验平台上开展了大量的实验。
来源:互联网摘选这套电扫描发射度探测系统安装在中国科学院近代物理研究所(兰州)的LECR3试验平台的束运线上。
来源:互联网摘选一种用于高场非对称波形离子迁移谱系统的新型敞开式化学离子源
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