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给出了金属靶阴极表面溅射清洗效果的伏安特性评价法，为克服“靶中毒”提供了有效的技术途径。
来源：互联网摘选 -
2、
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3、
The Deposition of ITO Film by Using the Low SP Voltage High Target Utilization α Cathode
使用低电压高利用率新型α阴极制备ITO膜
来源：互联网摘选
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