silicon oxynitride
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氮氧化硅
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1、
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2、
常压化学气相沉积法氮氧化硅薄膜性能的研究
来源：互联网摘选 -
3、
在还原气氛中执行等离子体氮化以将二氧化硅层转变为氧氮化硅层（110A）。
来源：互联网摘选 -
4、
具有碱催化活性的有序氮氧化硅MCM-41介孔分子筛的制备与性能研究
来源：互联网摘选
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