silicon stack
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硅堆
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1、
有必要进行热硅通孔和薄的堆叠晶片（包括粘结层或者中介层）的热-力建模及其对有源器件和互连线影响的研究。
来源：互联网摘选 -
2、
这里研究了简化的1/8模型，模型考虑了二氧化硅和氮化硅生成过程及堆阳极键合和胶粘结合过程。
来源：互联网摘选 -
3、
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