实心电子束
Titanium films are deposited on Si wafers by electron-beam evaporation in vacuum, the base pressure of the system is 10-7 Torr. Solid phase reaction results through rapid thermal annealing.
钛膜在10~(-7)Torr真空中用电子束蒸发沉积在硅单晶片上,以快速热退火方式进行团相反应。
英语网 · 高考英语
英语网 · 四六级英语
英语网 · 商务英语
英语网 · 双语娱乐资讯
英语网 · 中考英语