晶圆级集成
The three dimensional temperature distribution of laser bonding with a Gaussian thermal source is modeled using the finite element method. Integration and Packaging of Sensors and MEMS Devices Through Low Temperature Wafer Bonding
在硅/玻璃激光键合中,温度场的分布是影响晶片能否键合的关键因素。用低温圆片键合实现传感器和微电子机械系统器件的集成和封装
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