湿石灰
SODA& LIME glass, PZT thin film by hydrothermal method and PDMS plate by casting moulding are together used to equip a valveless micropump. The processes of lithography, develop and dechromisation, wet etching and masking layer removing are investigated forthe micropump fabrication.
采用SODA&LIME玻璃、水热法制备的压电薄膜和浇注成型的PDMS盖片,通过光刻、显影和除铬、湿法刻蚀、掩蔽层去除等微加工工艺,制作了无阀压电微泵。
英语网 · 双语新闻
英语网 · 高考英语
英语网 · 双语娱乐资讯
英语网 · 初中英语作文
英语网 · 英语词汇