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包括：RHT设备，高剂量注入硅的RTA机理与最佳RTA条件选择，以及浅PN结制造，硅化物形成，BPSG回流和薄氧化层的快速氮化等RTP技术。
来源：互联网摘选 -
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3、
research on structural design& manufacture of elastomer rtn load cell
浅谈RTN称重传感器弹性体的结构设计与制造
来源：互联网摘选
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