采用对靶直流磁控溅射设备制备镍铁氧化物催化薄膜,研究了溅射气压与催化薄膜的结构、表面形貌、过电位、电阻率及生长速率之间的关系。
来源:互联网摘选以此为基础,作者从不同的角度提出了三种改善相对论磁控管效率方案:①降低有载Q值;②限制工作电流;③高阻相对论磁控管锁相阵列。
来源:互联网摘选同磁控溅射法相比,热蒸发法在不掺杂的情况下,不仅制备出了具有n型导电特性的CuO薄膜,而且制备出了具有p型导电特性的CuO薄膜。
来源:互联网摘选以单晶硅片为靶材,高纯Ar和O2分别为溅射气体和反应气体,采用反应磁控溅射法在铝基体上制备了硅氧化物薄膜。
来源:互联网摘选应用直流磁控溅射方法,在500℃的衬底温度、纯氮气的溅射气体、800w溅射功率的条件下制备出(002)择优取向的TiN薄膜。
来源:互联网摘选多种工艺可以用来制备透明导电薄膜,如磁控溅射真空反应蒸发、化学气相沉积、溶胶-凝胶法以及脉冲激光沉积等。
来源:互联网摘选在已开发的众多生长技术中,磁控溅射、金属有机物气相沉积、脉冲激光沉积、分子束外延、电子束反应蒸镀法是生长出高度c轴择优取向优质薄膜的主要方法。
来源:互联网摘选Preparation Process of Y_2O_3 Thin Film Using RF Magnetron Reactive Sputtering
射频磁控反应溅射法制备Y2O3薄膜的工艺研究
来源:互联网摘选磁控反应溅射镀膜设备充气系统设计的几个问题
来源:互联网摘选Growth Process of Preferential Orientation of AlN Thin Films by Magnetron Reactive Sputtering
磁控溅射氮化铝薄膜取向生长工艺研究
来源:互联网摘选The Electrochromic Properties of Nickel Oxide Films Prepared by Magnetron reactive Sputtering
磁控反应溅射氧化镍薄膜电致变色特性的研究
来源:互联网摘选Research for Technique of Large-area Indium-Tin Oxide Film by Magnetron Reactive Sputtering Method
磁控反应溅射制备大面积掺锡氧化铟薄膜工艺探讨
来源:互联网摘选Study of ITO Transparent Conducting Thin Films Deposited by DC Magnetron Reactive Sputtering
直流磁控反应溅射沉积ITO透明导电膜的研究
来源:互联网摘选等离子体发射监控系统参与的中频孪生反应磁控溅射沉积TiO2薄膜的实验研究
来源:互联网摘选Influence of Ar and Nz Flow Ratio on TiN Thin Films Prepared by Magnetron Sputtering
氩气与氮气流量比对磁控溅射法制备TiN薄膜的影响
来源:互联网摘选以所制靶材用射频磁控溅射法在普通玻璃基片上沉积了CeO2-TiO2单层和CeO2-TiO2/SnO2:Sb双层薄膜。
来源:互联网摘选采用直流磁控溅射工艺,室温下在载玻片上制备了氧化锌铝透明导电薄膜。
来源:互联网摘选The power supply will be convenient for controlling the magnetron sputtering coater automatically.
该电源为磁控溅射镀膜设备实现自动控制提供了方便。
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