研究了高温缓冲层厚度、外延层的生长速率以及富Zn环境对ZnO薄膜生长的影响,优化了生长工艺参数。
来源:互联网摘选采用常压MOCVD方法在Cu/Si(111)基板上生长ZnO薄膜,研究了缓冲层的生长温度对ZnO外延膜性能的影响。
来源:互联网摘选Thermodynamic Analysis of MOCVD Epitaxy Process Design for Ga In As Sb Alloy Semiconductor
Ga-In-As-Sb合金半导体MOCVD外延工艺设计的热力学分析
来源:互联网摘选锑化物半导体材料的MOCVD生长研究及其热光伏器件的模拟分析
来源:互联网摘选应用传输矩阵方法分析了厚度偏差对半导体布拉格反射镜(DBR)反射谱的影响,并利用这种影响提出了一种金属有机化合物汽相淀积(MOCVD)制备布拉格反射镜精确确定外延厚度的方法。
来源:互联网摘选为解决金属有机化合物化学气相淀积(MOCVD)设备温度控制的非线性、时变性以及大滞后等问题,给出了一种用模糊控制和预测控制相结合的复合控制方法。
来源:互联网摘选反应室作为MOCVD设备的核心部件,其温度场的均匀性直接影响到生长材料的质量。
来源:互联网摘选本文首先从MOCVD设备的结构入手,介绍了MOCVD系统的组成,并对各个组成部分功能做了简要描述,重点介绍了反应腔的结构。
来源:互联网摘选Analysis of reaction kinetics and numerical simulation of GaN growth by MOCVD
MOCVD生长GaN的反应动力学分析与数值模拟
来源:互联网摘选以Fe(CO)5为物源,在常压喷动流化反应器中,以金属有机化学气相沉积(MOCVD)法对云母粉进行包覆,制备铁系-云母珠光颜料。
来源:互联网摘选InP Based Long Wavelength Transmitter OEIC Structure Grown by MOCVD
InP基长波长光发射OEIC材料的MOCVD生长
来源:互联网摘选MOCVD用高压汞灯对n-GaN处延层进行了辐照湿法化学刻蚀研究,这种外延层是在A12O3衬底上用MOCVD方法生长的。
来源:互联网摘选MOCVD法ZnO薄膜生长及其紫外探测器的制备与初步研究
来源:互联网摘选采用MOCVD技术在Si(111)衬底上生长GaN薄膜,以此材料制备成光导型Si基GaN紫外探测器。
来源:互联网摘选Performance Comparison of GaAs/ AlGaAs Quantum Well Infrared Photodetectors Grown by MOCVD and MBE
MOCVD与MBE生长GaAs/AlGaAs量子阱材料的红外探测器特性比较
来源:互联网摘选
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